一种具有加热结构的测量设备

本实用新型公开了一种具有加热结构的测量设备，用于芯片条带的测量，包括固定驱动机构和视觉检测机构，所述固定驱动机构驱动芯片条带沿Y轴方向运动，所述视觉检测机构设置在固定驱动机构上方沿X轴方向运动，还包括加热温控平台，所述加热温控平台包括用于放置芯片条带的加热板和支撑柱，所述支撑柱固定于加热板下端并与固定驱动机构连接沿Y轴方向运动，所述加热板和固定驱动机构之间设有隔热组件，所述隔热组件上设有供支撑柱穿过的孔洞。本实用新型通过加热温控平台控制芯片条带的温度，通过隔热组件进行隔热，使芯片条带能在固定温度下进行尺寸测量的同时又不影响固定驱动机构的精度，从而得到更加精确的数据。