摘要
本实用新型涉及机械加工装置技术领域,公开了半导体芯片加工的晶圆切割机,包括切割器,所述切割器的内部顶端固定连接有滑轨,所述滑轨的外部滑动连接有滑块,所述滑块的底部固定连接有液压缸,所述液压缸的驱动端固定连接有提供壳,所述提供壳的左侧后端固定连接有电机,所述电机的驱动端固定连接有主动轮,所述主动轮的外部套设有传输带,所述提供壳的内部前端转动连接有从动轮,所述传输带的外部固定连接有多个连接块,所述提供壳的内部底端滑动连接有移动板。本实用新型中,实现了晶圆切割时机动性大增,可随心调整位置,轻松应对不同形状、尺寸芯片的加工需求,极大减少晶圆边角废料,提升材料利用率。
技术关键词
半导体芯片
切割器
切割机
工作台
机械加工装置
移动板
橡胶板
液压缸
夹持组件
伸缩板
边角废料
切割头
滑块
电机
晶圆
滑槽
箱门
顶端
卡块
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