一种用于转移机械臂的检测装置及其薄膜沉积设备

本实用新型公开了一种用于转移机械臂的检测装置及其薄膜沉积设备，转移机械臂的检测装置包括：用于转移晶圆的机械臂，以及用于检测所述机械臂位移的位移检测组件，所述位移检测组件包括第一检测组件和第二检测组件，所述第一检测组件和所述第二检测组件分别用于检测所述机械臂的两个夹臂的Z轴位移数据。本实用新型的用于转移机械臂的检测装置及其薄膜沉积设备，其通过在晶圆降温缓冲站内增加位移检测组件以定期对晶圆转移机械臂在Z轴方向位移变化进行检测，从而避免机械臂因位移变化导致的晶圆损伤或碰撞风险。采用该检测装置的薄膜沉积设备，能够降低对晶圆的损伤和传片碰撞几率，提高加工质量和效率。