摘要
本发明提供一种可调光衰减器芯片与制作方法,包括:波导芯层和至少两个温控电极组,其中:所述波导芯层的上方和/或下方设置有至少两个温控电极组,所有所述温控电极组均和外部PCB板对接;所述温控电极组用于通过外部PCB板施加电压以发热,从而改变波导芯层的温度以实现相应的光功率衰减;通过设置多个温控电极组,在输出固定热量时,减少单个温控电极组的功耗,单个温控电极组的本征温度则会同步降低,进而减缓每个温控电极组发生蠕变的程度,延长整个器件的寿命。
技术关键词
加热电极
可调光衰减器
温控
电极组
上沉积
光波导
导线
PCB板
芯片
输出光
衬底
电压
功率
布局
功耗
寿命
电流
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