摘要
本发明公开了一种用于介电粒子操控的光电镊装置,涉及光电镊技术领域,包括:紫外激光显微镜光路、紫外激光片状照明光路、成像光路以及介电粒子操控芯片模块;介电粒子操控芯片模块包括第一铌酸锂晶片、第二铌酸锂晶片以及运动控制装置;紫外激光显微镜光路照射第一铌酸锂晶片,紫外激光片状照明光路照射第二铌酸锂晶片;第一铌酸锂晶片和第二铌酸锂晶片经照射后分别产生光激电子;光激电子产生激光汇聚光斑;第一铌酸锂晶片产生的激光汇聚光斑小于第二铌酸锂晶片中的激光汇聚光斑;介电粒子操控芯片中产生不均匀电场;成像光路用于显示介电粒子操控芯片模块中产生的粒子信息。本发明装置结构简单,还能够对介电粒子实现灵活、高效、精准的操控。
技术关键词
铌酸锂晶片
芯片模块
激光显微镜
可调狭缝
粒子
扩束系统
物镜
光电
光斑面积
三维运动控制
三维运动装置
激光器
成像
运动控制装置
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