光罩数据中标记图形的检查方法

一种光罩数据中标记图形的检查方法，包括：提供光罩数据；自光罩数据获取切割道光罩数据为待处理数据；将待处理数据进行数据转换，获取切割道版图数据；根据原始版图数据，获取所有的标记图形在切割道版图数据中的光罩层次和位置信息、以及各标记图形对应的标准式样图形；根据所有的标记图形在原始版图数据中的光罩层次和位置信息、以及各标记图形对应的标准式样图形，在切割道版图数据中对应的光罩层次的相应位置处建立若干预设窗口，一个标记图形对应一个预设窗口；在切割道版图数据中，获取各预设窗口内的标记图形；根据预设窗口内的标记图形与对应的标准式样图形，获取预设窗口内标记图形是否正确的判断结果，利于提高标记图形检查的正确性。