一种带水冷的原子层热电堆热流传感器及制备、组装方法

本发明涉及热电效应和热流密度探测技术领域，其公开了一种带水冷的原子层热电堆热流传感器及制备、组装方法，热流传感器包括传感器芯片和冷却组件，所述传感器芯片底层为001晶面呈15°斜切衬底层，其上的层状热流敏感薄膜为通过脉冲激光沉积生长的YBa2Cu3O7‑δ薄膜，所述YBa2Cu3O7‑δ薄膜表面两端制备有双层金属电极；所述冷却组件用于所述传感器芯片进行水冷冷却和对所述传感器芯片封装。本发明在斜切15°的单晶铝酸镧LaAlO3衬底制备了大倾斜角度的YBa2Cu3O7‑δ薄膜；在YBa2Cu3O7‑δ薄膜表面制备了耐高温的Ni/Pt和Ni/W双层电极，并进行退火，增加了YBa2Cu3O7‑δ薄膜和电极材料的接触强度，降低接触电阻，提升电信号强度；冷却组件提高了器件在大热流、长时间工作场景下的稳定性。