半导体加工质量视觉自动在线检测系统及方法

本发明公开半导体加工质量视觉自动在线检测系统及方法，涉及半导体加工技术领域。本发明包括，对于不同数量状态下的系列特征点组合，分别将特征点组合内每个特征点的局部图像作为输入层，将对应的电性检测结果作为输出层，对检测模型进行训练至收敛得到检测模型，根据不同数量状态下的系列特征点组合内每个特征点的局部图像输入对应检测模型的输出层概率分布筛选出不同数量状态下的特征点组合；按照不同数量状态下的特征点组合提取得到待检测晶圆内每个芯片蚀刻区域的特异性特征点组合的局部图像输入对应的检测模型得到待检测晶圆内每个芯片蚀刻区域的电性预估结果。本发明提高了半导体视觉检测的速率。