基于尖晶石陶瓷衬底的异质结构衬底及其制备方法和应用

本发明属于光电集成技术领域，涉及基于尖晶石陶瓷衬底的异质结构衬底及其制备方法和应用，所述制备方法包括如下步骤：在尖晶石陶瓷衬底表面镀上第一类金刚石薄膜；将供体压电衬底的一面与第二类金刚石薄膜的表面键合，供体压电衬底的另一面与支撑衬底键合；第一类金刚石薄膜的表面与第二类金刚石薄膜的表面键合；采用智能切割工艺将支撑衬底与一部分供体压电衬底剥离，形成LN或LT压电薄膜，得到类金刚石薄膜/压电薄膜复合异质衬底，可有效使用在高频射频芯片滤波器中。与现有技术相比，本发明的方法可有效提高衬底的热导率、热稳定性和电气性能，具有较高的应用价值。