摘要
本发明公开了一种垂直RGB三基色Micro LED芯片及其制备方法,该方法通过提供一目标晶圆,包括衬底及间隔设于衬底之上的第一外延层、第二外延层与第三外延层,然后分别基于第一外延层、第二外延层与第三外延层进行芯片制作,制作出与P型半导体层连接的正电极,与N型半导体层单独连接的第一负电极,以及制作出与多个第一负电极共阴式连接的第二负电极,最后采用激光巨转设备进行转移,使其与预设的电路基板进行对位,实现键合固定,得到垂直RGB三基色Micro LED芯片,则本发明通过采用以上工艺进行芯片制作,能够使该芯片的巨量转移过程简单化,避免依赖于高精尖设备,降低了芯片的整体制作成本。
技术关键词
外延
RGB三基色
正电极
半导体层
光刻
干法
UV感光材料
衬底
高精尖设备
电路基板
缓冲层
晶圆
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