垂直RGB三基色Micro LED芯片及其制备方法

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垂直RGB三基色Micro LED芯片及其制备方法
申请号:CN202411930743
申请日期:2024-12-26
公开号:CN119364940A
公开日期:2025-01-24
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种垂直RGB三基色Micro LED芯片及其制备方法,该方法通过提供一目标晶圆,包括衬底及间隔设于衬底之上的第一外延层、第二外延层与第三外延层,然后分别基于第一外延层、第二外延层与第三外延层进行芯片制作,制作出与P型半导体层连接的正电极,与N型半导体层单独连接的第一负电极,以及制作出与多个第一负电极共阴式连接的第二负电极,最后采用激光巨转设备进行转移,使其与预设的电路基板进行对位,实现键合固定,得到垂直RGB三基色Micro LED芯片,则本发明通过采用以上工艺进行芯片制作,能够使该芯片的巨量转移过程简单化,避免依赖于高精尖设备,降低了芯片的整体制作成本。
技术关键词
外延 RGB三基色 正电极 半导体层 光刻 干法 UV感光材料 衬底 高精尖设备 电路基板 缓冲层 晶圆 欧姆接触层 通孔 镀膜 芯片 介质
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