一种独立像元的红外焦平面器件及其制备方法

本发明属于半导体技术中的红外焦平面探测器制备技术领域，具体公开一种独立像元的红外焦平面器件及其制备方法，在半导体材料上制作金属电极并生长铟柱，通过高精度倒焊机将其与相同规模的硅读出电路连接起来，使用环氧胶将其缝隙填充，再将半导体材料减薄抛光，把每个像元刻蚀分开后进行钝化处理，开窗口，制作透明导电电极，本发明中所有像元完全独立分开设置，能够大幅降低半导体焦平面阵列的结构应力、减小芯片在制冷时产生的裂纹，并减小像元间串音，为低成本、高效率地制备大规模小像元的红外焦平面探测器奠定基础。