带圆角器件结构模型构建方法及装置

本发明公开一种带圆角器件结构模型构建方法及装置，其方法包括根据预先设置的几何结构参数建立样品几何图形和腔室图形，其中，样品几何图形为带圆角的几何结构；对样品几何图形和腔室图形进行有限元划分，得到第一网格信息和第二网格信息，其中，第一网格信息为样品几何图形的网格信息，第二网格信息为腔室图形的网格信息；根据预先设置的几何结构参数、预先设置的电子探针参数、第一网格信息、第二网格信息以及预先设置的器件结构材料参数，输入Nebula模拟器构建带圆角器件结构模型。本发明的方法能够实现完全自动化利用Nebula模拟器实现构建带圆角器件结构模型，同时，由于整个过程无需人工参与，能够实现批量模拟功能，从而提升CD SEM量测的精度和效率。