用于半导体制品生产的物料搬运方法及相关装置

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用于半导体制品生产的物料搬运方法及相关装置
申请号:CN202510029635
申请日期:2025-01-08
公开号:CN120069696A
公开日期:2025-05-30
类型:发明专利
摘要
本申请涉及半导体制品生产技术领域,尤其是涉及一种用于半导体制品生产的物料搬运方法及相关装置。本申请的物料搬运方法,在物料搬运控制设备中,需要获取各目标半导体物料对应的生产环节信息和物料实时位置以及各非增值工艺设备对应的非增值工艺配置条件和非增值设备实时状态;根据每一目标半导体物料对应的生产环节信息和物料实时位置、每一非增值工艺设备对应的非增值工艺配置条件和非增值设备实时状态,为目标半导体物料配置对应的物料搬运任务;向多个物料搬运载具下发物料搬运任务。在物料搬运载具中根据物料搬运任务,对相应的目标半导体物料执行搬运操作。如此一来,有助于提高对半导体物料进行搬运的效率。
技术关键词
工艺设备 设备实时状态 实时位置 物料搬运方法 半导体制品 控制设备 物料追踪系统 节点 排列系统 路径规划方式 通讯 指令 编辑 终点 管理终端 模块 可读存储介质 程序
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