电性数据分析方法、装置、晶圆级测试设备和存储介质

本申请涉及一种电性数据分析方法、装置、晶圆级测试设备和存储介质。所述方法包括：获取测试目标的电性测试数据；所述电性测试数据的数据属性包括所述测试目标的结构相关属性和测试相关属性；基于所述电性测试数据的结构相关属性和第一判断标准，判断所述测试目标的电性测试数据是否失效，以确定电性失效数据；根据所述电性测试数据的结构相关属性、测试相关属性和第二判断标准，对所述电性失效数据进行类别划分，以确定所述电性失效数据对应的失效模式；基于预设的失效模式与测试问题分类关系，确定所述电性失效数据的失效模式对应的测试问题根因。通过本方法可以提高测试效率。