压电微流泵

本发明涉及一种流体传递装置，特别是涉及一种压电微流泵，包括吸入腔、中间腔、排出腔，所述吸入腔包括两弹性薄膜，所述吸入腔的所述两弹性薄膜上分别连接有压电陶瓷层，所述吸入腔的所述压电陶瓷层用于带动所述吸入腔扩大或缩小，所述吸入腔上设置有第一流体进入通道、第一流体排出通道，所述排出腔包括两弹性薄膜，所述排出腔的所述两弹性薄膜上分别连接有压电陶瓷层，排出腔的所述压电陶瓷层用于带动排出腔扩大或缩小，所述排出腔上设置有第二流体进入通道、第二流体排出通道，所述中间腔内腔与所述第一流体排出通道、所述第二流体进入通道连通。本发明体积小、噪声小、容易应用于小型电子设备中，气流传递速度控制更精准、适用于芯片散热。