基于扫描电镜观测的目标点快速定位方法及系统

本申请实施例提供一种基于扫描电镜观测的目标点快速定位方法及系统。其中，首次观测时，在待测样品上选定目标点，并围绕该点建立多层次的参考标记物体系，通过调整样品台角度并记录每次获取样本图像的观测条件，确定目标点与参考标记物之间的相对角度和直线距离，利用多个样本图像中的角度差异及位置差异，重建参考标记物在三维坐标系中的位置信息，形成三维空间几何关系网络，当样品经过处理后再次进行扫描电镜观测时，使用三维空间几何关系网络计算目标点的初步位置。对样品台进行亚像素级别的移动，直至目标点位于视野中心，同时监测并校正系统误差或样品位移。本申请实施例提供的技术方案提高了目标点定位的准确性、适应性和效率。