一种用于光栅读数头组合非一致性误差的校准方法

本发明提供一种用于光栅读数头组合非一致性误差校准的方法，所述方法为：分别单独规划工作台移动路径，以读数头123组合为参考，分别计算其余读数头组合测量模型的六自由度；然后得到各读数头组合之间的偏差值；将影响偏差值的六自由度变量与读数头组合之间的偏差值进行数据拟合，得到更新后的读数头组合之间非一致性误差系数；利用补偿后的系数重新计算工作台的位置，完成对光栅读数头组合之间非一致性误差的校准。本发明可用于光栅读数头组合之间非一致性误差的理论分析、纳米级光栅尺位移测量系统的算法优化。