一种半导体激光器光束准直质量检测装置及检测方法

本申请公开的一种半导体激光器光束准直质量检测装置及检测方法涉及激光检测技术领域。该装置包括载物部装、近场检测部装和远场检测部装。载物部装包括用于承托待检测激光芯片的载物台。近场检测部装包括位于激光芯片出光侧的近场工业相机，且近场工业相机的朝向激光芯片的一侧设置有分光棱镜。远场检测部装包括远场工业相机。通过近场工业相机和远场工业相机分别接收光束的近场光斑和远场光斑,并计算二者的质心坐标(Xa，Za)，(Xb，Zb)，若|Xa‑Xb|＜δx，表示光束慢准直合格，若|Za‑Zb|＜δz，表示光束快轴准直合格。该装置及检测方法操作简单，效率高，且能够保证光斑质心位置的测量精度。