功率芯片缺陷检测系统

本发明公开了一种功率芯片缺陷检测系统，具体涉及芯片检测技术领域，包括多模态数据采集模块、数据处理模块、智能分析模块、缺陷判定输出模块。在实际检测流程中，首先由多模态数据采集模块对功率芯片进行全面、细致的数据采集工作。采集到的大量原始数据迅速传输至数据预处理单元进行标准化处理，经过归一化处理后的数据被输送至智能分析模块。本发明智能分析模块凭借其独特的卷积神经网络‑循环神经网络架构对数据展开深度挖掘和分析，高效提取特征并准确预测缺陷类型。最终，缺陷判定输出模块依据预测结果生成专业的缺陷报告，为芯片的质量评估和后续的处理流程提供科学、可靠的依据，确保整个检测过程的高效性和准确性。