摘要
本发明涉及动态控制技术领域,提供了用于单晶硅生产过程的动态控制方法、系统及设备,所述方法包括:拉制炉内安装多模态传感单元,获取多模监测数据,分析提取收尾特征,输入风险预测模型,根据预测结果寻优拉速调整策略,并修正预测与实际拉速偏差,解决了在收尾阶段存在潜在的断裂隐患,缺乏有效的机制来及时识别和修正潜在生产风险的技术问题,全面实时地监控单晶硅的生长过程,确保生产中的环境变化和晶体生长状态被及时捕捉,通过对晶体收尾阶段特征数据的分析,及时发现异常,避免因断裂或不稳定状态引发生产事故,确保调整过程的精确性与实时性,实现了单晶硅生产过程的高效、稳定与安全性的技术效果。
技术关键词
风险预测模型
动态控制方法
单晶硅
多模态
数据传输网络
反馈控制策略
在线学习机制
晶体
应变传感器
数据同步
断裂风险
动态控制技术
调控策略
数据安全防护
动态控制系统
机器学习框架
分布式数据库
信号处理技术
温度传感器
系统为您推荐了相关专利信息
运维知识图谱
多模态数据分析
专家系统
局部波动特征
意图
俯仰角数据
生成运动轨迹
视频内容分类
文本
加速度
教学质量评价系统
多模态信息融合
指数
教师
分析模块
多模态传感器
光纤光栅传感器
节点特征
压电振动片
风险
异常状况
融合特征
监测方法
异构传感器网络
多模态特征融合