用于单晶硅生产过程的动态控制方法、系统及设备

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用于单晶硅生产过程的动态控制方法、系统及设备
申请号:CN202510036229
申请日期:2025-01-09
公开号:CN119776986A
公开日期:2025-04-08
类型:发明专利
摘要
本发明涉及动态控制技术领域,提供了用于单晶硅生产过程的动态控制方法、系统及设备,所述方法包括:拉制炉内安装多模态传感单元,获取多模监测数据,分析提取收尾特征,输入风险预测模型,根据预测结果寻优拉速调整策略,并修正预测与实际拉速偏差,解决了在收尾阶段存在潜在的断裂隐患,缺乏有效的机制来及时识别和修正潜在生产风险的技术问题,全面实时地监控单晶硅的生长过程,确保生产中的环境变化和晶体生长状态被及时捕捉,通过对晶体收尾阶段特征数据的分析,及时发现异常,避免因断裂或不稳定状态引发生产事故,确保调整过程的精确性与实时性,实现了单晶硅生产过程的高效、稳定与安全性的技术效果。
技术关键词
风险预测模型 动态控制方法 单晶硅 多模态 数据传输网络 反馈控制策略 在线学习机制 晶体 应变传感器 数据同步 断裂风险 动态控制技术 调控策略 数据安全防护 动态控制系统 机器学习框架 分布式数据库 信号处理技术 温度传感器
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