一种基于无磁材料的集成式微型VCSEL激光器封装结构

一种基于无磁材料的集成式微型VCSEL激光器封装结构，包括框架、VCSEL芯片、温度控制单元以及集成柔性电路四个部分；框架由四分之一波片、PEEK框架以及氮化铝基板组成；温度控制单元包含NTC热敏电阻、上层2N极距加热线圈和下层2N极距加热线圈，与内部电极连接到外部电路；集成柔性电路部分主体是FPC柔性电路，其靠近激光器一侧设置内侧电极，可与小型化原子磁强计其他元件连接，远离激光器一侧设置外侧电极，可与外部电路连接。本发明采用PEEK材料和氮化铝作为框架，并用2N极距加热线圈对VCSEL芯片进行加热，减少了封装和加热带来的低频磁场干扰。同时安装四分之一波片，对激光整形，得到原子磁强计所需要的圆偏振光，也将激光器高度控制在2.5mm，更有利于小型化。