摘要
本发明公开了一种垂直打线的高密度POP封装结构及封装工艺,包括:临时键合载体,临时键合载体上设置有多层RDL重布线,多层RDL重布线上通过光刻胶曝光形成开口,光刻胶开口处设置有铜柱,多层RDL重布线上贴装有第一芯片,第一芯片的上有连接线路,第一芯片、连接线路和铜柱的外壁包裹有第一塑封材料,铜柱和连接线路的外端设置有高密度RDL,高密度RDL上利用倒装的方式通过微凸点贴装有第二芯片,第二芯片的外壁包裹有第二塑封材料,多层RDL重布线的背面设置有植球。本发明利用晶圆级高密度RDL取代基板,提高互连密度,并实现多芯片的封装;采用垂直打线的技术,降低封装尺寸,并减少信号传输产生的寄生电容和寄生电阻,提高信号传输效率。
技术关键词
POP封装结构
高密度
封装工艺
布线
光刻胶
线路
载体
包裹
塑封结构
多芯片
封面
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