一种基于深度学习和自动化技术的混合集成电路检测系统

本发明公开了一种基于深度学习和自动化技术的混合集成电路检测系统，包括机台模块、自动上料模块、物料传送模块、检测模块、机械臂模块和下料分类模块，所述检测模块包括三维运动平台、红外传感器和高精度三维相机，本发明涉及混合集成电路缺陷检测技术领域。该基于深度学习和自动化技术的混合集成电路检测系统，通过由自动上料模块、物料传送模块、检测模块、机械臂模块和下料分类模块等组成，混合集成电路由自动上料模块对应的上料口放入，自动的传送至物料传送模块，经物料传送模块传送至检测模块，检测模块通过点云网络对混合集成电路质量进行检测，根据检测结果，机械臂模块将混合集成电路放至下料分类模块的不同区域。