摘要
一种二维可寻址激光发射阵列及激光装置,涉及半导体激光器的技术领域,二维可寻址激光发射阵列包括若干VCSEL发光点、若干金属互连层和若干焊盘;部分金属互连层沿第一方向间隔排列,其余金属互连层沿第二方向间隔排列,第一方向与第二方向垂直;金属互连层包括位于VCSEL发光点上方的第一金属互连部分,以及位于相邻VCSEL发光点之间或VCSEL发光点与焊盘之间的第二金属互连部分;至少部分金属互连层中,同一金属互连层的第一、第二金属互连部分被设计以满足:沿远离焊盘方向,第二金属互连部分的线阻依次减小;第一金属互连部分的线阻不变或依次减小。由此可提高VCSEL发光点产生的光功率的一致性。
技术关键词
激光发射阵列
金属互连层
激光装置
驱动芯片
焊盘
半导体激光器
通道
负极
功率
矩形
间距
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