抑制硬脆自由曲面中频误差的纵扭复合超声振动抛光方法

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抑制硬脆自由曲面中频误差的纵扭复合超声振动抛光方法
申请号:CN202510049567
申请日期:2025-01-13
公开号:CN120134075B
公开日期:2025-12-12
类型:发明专利
摘要
本发明涉及硬脆自由曲面的抛光方法,具体涉及一种抑制硬脆自由曲面中频误差的纵扭复合超声振动抛光方法,解决了现有超声振动抛光方法无法抑制硬脆材料自由曲面抛光中频误差的技术问题。本发明采用机械抛光方法,在抛光工具上附加纵扭复合超声振动,使抛光工具自身的旋转运动和进给运动与纵扭复合超声振动结合形成空间复杂耦合抛光轨迹,实现抛光工具以空间复杂耦合抛光轨迹沿材料去除方向进行抛光,从而实现硬脆自由曲面的纵扭复合超声振动抛光,通过改变纵扭复合超声振动的幅值和频率实时改变纵扭振动抛光时变去除函数的空间姿态,使每一个抛光点的去除函数在空间复杂耦合抛光轨迹的作用下各不相同,从而实现中频误差的抑制。
技术关键词
复合超声振动 抛光工具 自由曲面抛光 机械抛光方法 误差 振动抛光方法 频率 轨迹 扫描行数 硬脆材料 承载设备 运动 光栅 干涉仪 抛光轮 机器人 光盘
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