一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置及检测方法

本发明公开了一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置及检测方法，涉及到芯片检测装置领域，其包括检测主机，所述检测主机内安装有移动架，所述移动架上安装有电子显微镜。需要说明的是，在本发明实施例中，通过摆动杆对芯片的表面进行清理，避免芯片上落有较多杂质，影响检测的问题；此外，在芯片移动时，如果芯片上存在焊渣之类的杂质，则会带动检测转板转动，并得警报器打开发出报警，提醒工作人员芯片有质量问题，并能够明确地观察到芯片出问题的具体部位，便于工作人员进行检查；在进行检测时，如果夹具移动不到位，使得移动架被锁定，可以及时地提醒工作人员进行调整，避免夹具随着使用次数的增加，发生位移位置过大，影响芯片检测的问题。