石墨烯全光调制器及其应用

本发明涉及用于光调制的器件技术领域，公开了一种石墨烯全光调制器及其应用。石墨烯全光调制器，包括薄硅槽波导、模式转换器单元以及二氧化硅衬底，薄硅槽波导和模式转换器单元位于二氧化硅衬底上；薄硅槽波导两侧分别连接有一组模式转换器单元，两组模式转换器单元对称分布于薄硅槽波导两侧；薄硅槽波导上覆盖有石墨烯‑六方氮化硼异质结。能够有效地增强光与物质的相互作用，实现高效的全光调制，同时具有超快响应时间和宽带调制能力，为光通信和光信息处理技术的发展提供了新的可能性，对于超快低能耗硅基光电子芯片的发展具有重要意义。