一种基于代价函数的违例消除方法、装置、设备及介质

本申请公开了一种基于代价函数的违例消除方法、装置、设备及介质，涉及芯片制造领域，包括：对于经光学邻近修正后的当前芯片设计图形，遍历当前芯片设计图形中的每条边，并基于遍历到的当前边和周围的若干侯选边确定若干组边；基于若干组边分别所属的掩模规则确定相应的代价函数以计算相应一组边的代价值；基于代价值从若干组边中确定违例；移动违例的位置以更新当前芯片设计图形，并重新回到遍历当前芯片设计图形中的每条边的步骤，直至若干组边中不存在违例。本申请通过搜索整个解空间以基于每组边的代价值从若干组边中确定违例，并在消除违例后重新搜索整个解空间直至消除所有违例，从而通过更大的搜索空间可以更容易地消除所有违例。