沉积用喷洒头及治具、前驱体用量评估装置及方法

本公开提供了一种沉积用喷洒头及治具、前驱体用量评估装置及方法。根据实施例，喷洒头包括在其喷洒面上的至少一个偏心或非对称设置的喷洒孔洞，用于使前驱体通过其中而向样品表面喷洒。