一种通过掺杂调控的铅镧锆锡基反铁电薄膜及其制备方法和应用

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一种通过掺杂调控的铅镧锆锡基反铁电薄膜及其制备方法和应用
申请号:CN202510069877
申请日期:2025-01-16
公开号:CN119930280B
公开日期:2025-10-10
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种通过掺杂调控的铅镧锆锡基反铁电薄膜及其制备方法和应用,将三水合醋酸铅、二乙酸二丁基锡、六水硝酸镧、四水乙酸锰和冰醋酸混合制得混合溶液,然后将混合溶液加热搅拌并冷却,依次加入聚乙二醇和乙酰丙酮并室温搅拌,然后加入正丙醇锆、乙二醇甲醚和去离子水并室温搅拌,最后加入乳酸并室温搅拌,静置后过滤得到前驱体溶液;在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(004)衬底上旋涂制备的前驱体溶液,然后经干燥处理和热解处理,在空气氛围下分别对第1层和第10层的薄膜进行退火处理,得到铅镧锆锡基反铁电薄膜。在实现较大的制冷温度变化值的同时,也将电卡制冷效应向低温区域拓展,并展现出更为优异的反铁电性能。
技术关键词
热管理器件 薄膜 乙酰丙酮 聚乙二醇 去离子水 乙酸 溶液 冰醋酸 乳酸 丁基 硝酸 数据中心 衬底 加热 空气 原位 效应 芯片 速度
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