摘要
本发明属于半导体材料的技术领域,公开了提供的红光Micro LED外延片中所述红光Micro LED外延片包括依次生长的N型限制层、多量子阱结构、P型电子阻挡结构和P型欧姆接触层;其中,所述量子阱包括阱层和垒层,且所述阱层的厚度为2.5~3nm;所述多量子阱结构为M对量子阱,2≤M≤5;所述P型电子阻挡结构包括N组超晶格单元,3≤N≤10;所述超晶格单元沿着外延生长方向依次包括富铝层、Al渐变层和低铝层;其中所述的富铝层、Al渐变层和低铝层的掺杂类型均是P型掺杂。薄化的多量子阱层结构与P型电子阻挡结构之间的协同配合,以提升Micro LED外延片小电流注入下电子和空穴辐射复合的效率,使得该LED外延片在小电流注入的情况下也具有优异的发光性能。
技术关键词
多量子阱结构
阻挡结构
欧姆接触层
腐蚀阻挡层
量子阱层结构
外延
电子
电流扩展层
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