一种干法刻蚀机用晶圆多功能提取装置

本发明公开了一种干法刻蚀机用晶圆多功能提取装置，涉及晶圆技术领域，包括提取机构，所述提取机构的顶部设置有拿取机构，所述提取机构顶部的中部设置有除尘机构，所述提取机构的顶部固定连接有环境调节机构，所述环境调节机构的内部设置有湿度调节机构。本发明通过环境调节机构的设置，在对晶圆进行提取的过程中，可通过氮气瓶额供气，持续对防护罩内通入氮气，从而将防护罩内的空气排出，避免晶圆提取的过程中，与空气中的氧气接触而导致晶圆表面氧化，同时在通入氮气的过程中，通过温湿度传感器对防护罩内的温度与湿度进行检测，温度较低时，可启动第一电加热器对通入的氮气进行加热，从而提高防护罩内的环境温度。