一种具有频率调整结构的声表面滤波器芯片及其制备方法

本发明涉及一种具有频率调整结构的声表面滤波器芯片及其制备方法，一种具有频率调整结构的声表面滤波器芯片包括基底，所述基底的一侧面设有叉指金属区域，所述叉指金属区域之间的基底上设有二氧化硅填充层。本发明的目的在于提供一种新颖的频率提升结构，通过巧妙设计叉指金属区域与二氧化硅材料的结合方式，既避免了复杂的trim操作，又有效提升了声表面波滤波器的频率特性，同时保证了器件的结构稳定性和生产效率，降低了生产成本，为高性能滤波器的研发提供了新的技术路径。