摘要
本申请涉及精密光学测量技术领域,具体涉及一种长距离旋转轴六自由度运动误差激光测量系统及方法,该测量系统包括激光测量模组、惯性测量模组以及融合预测模组。与现有技术相比,本申请实施提供的长距离旋转轴六自由度运动误差激光测量系统,利用激光测量模组的激光固定模块、运动模块与参考旋转轴配合作用,实现对目标旋转轴的长距离光学测量,以获取第一测量参数。与此同时,利用惯性测量模组对目标旋转轴直接测量获取第二测量参数。再在获取的第一测量参数与第二测量参数均具有高精度的基础上,进一步利用融合预测模组对数据进行融合处理,提高融合数据的精确度和抗环境干扰能力,充分确保测量结果的可靠性和稳定性。
技术关键词
六自由度运动
角锥棱镜
旋转轴
光束
四象限探测器
运动模块
模组
四分之一波片
干涉条纹
数据采集模块
分光镜
偏振膜
参数
激光发生器
反射镜
RBF神经网络
IMU传感器
直线度误差
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