耐腐蚀耐高温真空晶圆机器人

本发明公开了耐腐蚀耐高温真空晶圆机器人，包括基座，以及位于基座上的手臂；所述手臂包括大臂，所述大臂包括相互连接的第一大臂和第二大臂，所述大臂两侧分别设置有一手指，所述手指通过第一小臂和第二小臂分别与大臂连接；所述基座内设置有真空电机、伺服电机，所述真空电机包括真空隔套、转子、定子，真空隔套将定子进行真空隔绝，所述转子通过旋转轴与大臂连接；所述伺服电机通过联轴器和滚珠丝杆与手臂连接，本发明使手臂自身成为连杆结构，带轮、皮带等构件减少,将单侧双导轨经过结构优化，设计成双侧导轨，因此,解决高温、高真空和腐蚀性问题、也解决了双侧导轨受力问题，达到大负载。