直驱版晶圆搬运机器人

本发明公开了直驱版晶圆搬运机器人，包括连接的基座和旋转桶，以及位于旋转桶上的大臂和小臂，旋转桶内设置有旋转轴；所述基座内设置有旋转轴电机、丝杠电机，丝杠电机通过滚珠丝杆带动旋转桶升降，所述旋转轴电机带动旋转桶进行旋转；所述旋转桶内还设置有直驱电机，所述直驱电机用于带动大臂和小臂进行联动，本发明通过直驱电机代替步进电机+谐波减速机，直驱电机为电机直连负载，因为没有其他传动，将电机的性能最大层度上发挥，稳定性大大增加，同时负载的碰撞参数可以1：1传动到电机上，电机通过电流可以检测把负载所受到的碰撞力，来进行做碰撞检测，机器人进行保护性停机。