摘要
本发明是关于一种芯片涂覆保护膜用夹具,属于芯片夹持装置技术领域。包括底座、盖板;所述底座上设有芯片放置槽;所述盖板盖设在所述底座上,所述盖板上设有与所述芯片放置槽位置相对应的通孔,且所述通孔的大小与芯片需要涂覆保护膜的大小相对应,所述通孔的上侧边缘设置有倒角;其中,将芯片放置于所述芯片放置槽后,所述通孔正对芯片需要涂覆保护膜的位置。本申请通过在盖板上的通孔的上边缘设置倒角,对光束的照射形成避让,从而有效避免了光影的产生,进而确保了芯片镀膜的质量。本申请通过在盖板上的通孔的上边缘设置倒角,对光束的照射形成避让,从而有效避免了光影的产生,进而确保了芯片镀膜的质量。
技术关键词
保护膜
涂覆
夹具
芯片夹持装置
通孔
底座
镀膜
挡片
锁紧螺栓
光束
螺钉