一种基于磁性薄膜的三维力-温度双模态触觉传感器

本发明为一种基于磁性薄膜的三维力‑温度双模态触觉传感器。该传感器包括石墨烯‑硅胶弹性体、热电偶、磁性薄膜、弹性体支柱、裹附体、Z轴TMR元件和柔性印刷电路板；其中，三个Z轴TMR元件呈直角形分布在柔性印刷电路板上；裹附体覆盖在柔性印刷电路板，并将Z轴TMR元件阵列裹附其中；五个弹性体支柱呈五点梅花状分布在裹附体上；石墨烯‑硅胶弹性体固定于五个弹性体支柱上；石墨烯‑硅胶弹性体内，裹附有磁性薄膜与热电偶，且热电偶位于磁性薄膜之上。本发明的触觉传感器具有低迟滞、高分辨、高灵敏、易解耦、多功能的特点，可以同时实现对外部三维力与温度的双信息感知。