摘要
本发明适用于固晶设备技术领域,提供了一种固晶摆臂装置及固晶设备。上述固晶摆臂装置包括支撑座、摆臂组件、弹性连接组以及驱动单元。固晶设备包括上述任一项所述的固晶摆臂装置。将摆臂组件的连接端通过弹性连接组连接至支撑座上,并将吸嘴结构设置在远离连接端的固晶端上,使吸嘴结构可以与第二轴线尽量的相互远离,从而使摆臂组件在竖直方向上绕着第二轴线摆动时吸嘴结构具有更大的转动直径,根据几何关系可以,当物体在竖直平面内转动时物体的转动半径越大,在竖直方向移动相同距离时在水平方向上的位移就越小,因此增大吸嘴结构的转动半径,减小了吸嘴结构在沿竖直方向调整时水平方向上的偏差值,进而提高了固晶的精度。
技术关键词
摆臂组件
固晶摆臂
吸嘴结构
动子组件
驱动单元
定子组件
固晶设备
支撑座
弹性片
音圈电机
安装支架
安装座
往复运动
线圈
物体
外力
偏差
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