包括共享RF发生器的衬底处理设备

公开了一种衬底处理设备。示例性衬底处理设备可包括多个退火室；共享RF发生器，其配置为向退火室产生等离子体；其中共享RF发生器经由RF分频器电联接到退火室；其中RF分频器设置有多个RF电缆，RF电缆中的每个分别电联接到退火室中的每个。