气体传感器阵列及气体传感器芯片

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气体传感器阵列及气体传感器芯片
申请号:CN202510085161
申请日期:2025-01-20
公开号:CN120142387A
公开日期:2025-06-13
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种气体传感器及气体传感器标定方法。气体传感器包括壳体、气敏部、吸气部、释气部及若干微热板,壳体内设有密封挡板,密封挡板用于遮挡或打开通风口;吸气部用于吸收壳体内的气体,以标定零点;释气部用于释放气体,以标定满量程。通过利用密封挡板封堵通风口,壳体内部能够形成密封腔体。吸气部可以吸收腔体内的气体,测量此时气敏部的电阻值,可以实现对气体传感器零点的标定。利用释气部释放气体,气体填充壳体后,可以测量此时气敏部的电阻值,实现对气体传感器满量程的标定。气体传感器可以避免传统传感器标定过程复杂的缺陷,可以实现气体传感器的自动矫正标定,可以降低标定复杂性,可以降低气体传感器的使用成本。
技术关键词
微热板 密封挡板 标定方法 气体传感器芯片 通风口 气体传感器阵列 电阻值 壳体 氢化镁 密封腔体 氧化锡 硝酸铵 加热 钒铁 氧化锌 固体 铵盐 矫正
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