一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统

本发明提供了一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统，涉及芯片制造技术领域；本发明利用数字微镜器件DMD生成纯白图像，通过面阵CCD捕捉光路镜片的反射光图像，再使用CCD控制器采集面阵CCD的反射光图像，并对所有像素进行累加处理，将累加值作为镜片清洁度数据；通过实时监测光路清洁度，并根据监测结果进行按需维护，可以有效保持光路镜片的洁净度，提高光刻机的成像质量和光刻精度，从而提高芯片的良品率，避免了过度维护和不足维护的问题，减少了维护次数和维护时间，降低了维护成本。此外，本发明还能根据相关数据进行不良品批次预测和污染源分析预测，进一步挖掘利用所采集的各项数据，进而实现综合评估受影响的不良品批次和污染源。