工艺优化方法、装置、设备及系统

本申请公开了一种工艺优化方法、装置、设备及系统，涉及工艺优化领域。该方法包括获取用户的输入数据，输入数据包括工艺边界条件；基于输入数据通过预设的正交试验设计方法生成正交试验方案，正交试验方案包括多个正交试验样本；基于多个正交试验样本和预测模型确定备选参数组合，预测模型是基于随机森林回归模型构建的；将备选参数组合确定为模拟退火算法的初始解并通过模拟退火算法获取优化参数组合，优化参数组合用于工艺优化。本申请可获得优化参数组合并用于进行工艺优化。