用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片

AITNT
正文
推荐专利
用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片
申请号:CN202510090738
申请日期:2025-01-21
公开号:CN120057848A
公开日期:2025-05-30
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片,该方法包括:步骤1:在硅基衬底表面形成氮化硅层;步骤2:刻蚀氮化硅层及部分硅基衬底,以在硅基衬底上形成微井阵列;步骤3:在微井阵列的微井中形成二氧化硅层;步骤4:去除氮化硅层,得到具有微井阵列的硅基衬底;步骤5:在硅基衬底的具有微井阵列的表面键合玻璃盖板,玻璃盖板用于键合的表面形成有与微井阵列位置对应的凹槽。本发明的用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片,无需刮片盖板或者在负压下进样。由于整个芯片内腔都属于亲水表面,水相溶液可以在常压下填充整个芯片,后续被油相因界面张力的作用而形成相互独立的微液滴单元。
技术关键词
液滴阵列芯片 氮化硅层 玻璃盖板 衬底 二氧化硅 微液滴 表面接触角 开口形状 水相 常压 溶液 四边形 六边形 界面 刮片 光刻
系统为您推荐了相关专利信息
1
一种薄膜型面发射电光芯片结构及其制备方法
欧姆接触区 芯片结构 导电层 光波导 异质结
2
一种用于分布式反馈激光器芯片的划片方法及其应用
分布式反馈激光器 划片方法 芯片 V型凹槽 应力
3
像素单元、显示面板以及头戴式虚拟现实设备的光机
发光元件 像素单元 滤光片 头戴式虚拟现实设备 微透镜
4
晶圆制备方法及晶圆
图形化光刻胶层 隔离结构 衬底 通孔 晶圆
5
一种晶圆结构及其制作方法
晶圆结构 芯片 轴对称图形 阵列 沟槽栅极
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号