用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片

本发明提供一种用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片，该方法包括：步骤1：在硅基衬底表面形成氮化硅层；步骤2：刻蚀氮化硅层及部分硅基衬底，以在硅基衬底上形成微井阵列；步骤3：在微井阵列的微井中形成二氧化硅层；步骤4：去除氮化硅层，得到具有微井阵列的硅基衬底；步骤5：在硅基衬底的具有微井阵列的表面键合玻璃盖板，玻璃盖板用于键合的表面形成有与微井阵列位置对应的凹槽。本发明的用于dPCR反应的微液滴阵列芯片的制备方法及微液滴阵列芯片，无需刮片盖板或者在负压下进样。由于整个芯片内腔都属于亲水表面，水相溶液可以在常压下填充整个芯片，后续被油相因界面张力的作用而形成相互独立的微液滴单元。