基于向心梯度磁场设计的柔性多维力传感器及其制备方法

本发明公开了一种基于向心梯度磁场设计的柔性多维力传感器及其制备方法，属于电子器件领域。一种柔性多维力传感器，由上到下依次包括：保护层，包括具有力敏特性的柔性基底材料；磁膜层，底面设有十字形的凹槽，且所述凹槽的边缘呈弧形，能够形成具有梯度磁通量的磁场；缓冲层，包括具有阶梯形的应变材料；以及，传出层，包括具有三轴磁场传感能力的电磁效应芯片及其读出电路。与现有技术相比，本申请的传感器从磁场设计上实现自然解耦，并且在三轴上均具有解耦能力。本申请的梯度设计使得传感器在受到应力的时候，在不同应力阶段具有不同响应斜率，极大提高了器件的测力范围，并且三轴上的传感灵敏度与范围相同。