用于光声成像的光栅传感器、光声探头及光声成像装置

本发明公开了用于光声成像的光栅传感器、光声探头及光声成像装置，通过采用三维光刻工艺加工光栅结构，结合外部实体结构和内部周期性结构的设计，使得外部实体结构与多个空腔区域形成显著的折射率差，从而增强了光栅的谐振效应。在超声探测过程中，光栅结构的折射率差引发的周期性的谐振效应能够高效地将超声波压力转化为光信号，并进一步转化为用于光声成像的电信号。相比传统超声传感器，本发明提供更高的灵敏度和更广泛的带宽，能够在高分辨率成像中实现更清晰、更准确的成像效果，有效避免现有技术中超声传感器在高分辨率成像中成像效果差的现象。此外，采用双光子加工和紫外光固化形成显著折射率差，从而提升光声内窥成像的声谱探测能力。