单波长光束测厚参考数据库建立方法、测量方法及设备

本发明提供一种单波长光束测厚参考数据库建立方法、测量方法及设备，所述参考数据库建立方法包括：获取晶圆薄膜在不同厚度下的反射率，其中厚度为给定值，相应的反射率是通过数学模型计算出的值，所述反射率是晶圆薄膜对特定波长光的反射率，所述反射率随着厚度的变化呈现周期性变化；确定所述反射率随厚度变化的趋势信息；根据所述不同厚度及相应的反射率和所述趋势信息建立用于单波长光束测量晶圆薄膜厚度的参考数据库。