摘要
本发明公开一种基于低温捕捉探针位置的晶圆测试台,包括底座,还包括晶圆组件,测试组件,摄像组件以及运动组件;所述底座顶部通过运动组件连接有所述晶圆组件,所述底座两侧对称所述晶圆组件设置有所述测试组件,所述晶圆组件后侧设置有所述摄像组件,所述测试组件通过外界温度变化调节输出位置,所述摄像组件通过动态捕捉所述测试组件的输出位置,通过驱动所述运动组件带动所述晶圆组件输出指定位置。
技术关键词
测试组件
运动组件
测试台
摄像组件
测试探针
晶圆
摄像台
测厚仪
保护套
驱动单元
机械臂
滑动套
封板
底座
相机
顶端开口处
芯片
电机
输出端
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