OPC模型的量化评估方法

本发明提供一种OPC模型的量化评估方法，基于OPC模型，得到各个光罩图形的光强分布I，光强分布I由必须项、辅助项以及调节各项的系数组成；通过各个光罩图形的光强分布I和晶圆关键尺寸得到光强Imeas，光强Imeas为各个光罩图形在量测关键尺寸端点所在位置的光强，获取各个光罩图形光强Imeas和光强Ithreshole的差值Ierr，以所有光罩图形为样本获取差值Ierr的均方根，根据差值Ierr以及差值Ierr的均方根评估OPC模型的优化方向；对光罩图形进行分类，并分别获取OPC模型各分类的光强Imeas和光强Ithreshole的差值Ierr以及差值Ierr的均方根，以实现对OPC模型的优化方向的细分量化评估。本发明得到的评估结果为OPC模型的优化提供较为明确的方向，缩短建模周期，并且有助于得到更贴近需求的OPC模型。