一种旋转密封结构

本发明属于芯片清洗技术领域，公开了一种旋转密封结构，安装于驱动机构上方的工作台上，包括下端与驱动机构相连接的转轴管，转轴管的上部贯穿工作台并延伸至工艺区内；转轴管外套接有固定座，固定座的下端与工作台密封连接，固定座的上部转动连接有套接于转轴管外的密封轴承外壳，密封轴承外壳与固定座的外壁密封配合；密封轴承外壳的上端密封连接有套接于转轴管外的波纹管，波纹管的上端密封连接的支撑块，支撑块的一侧安装有喷嘴组合；转轴管的上端与支撑块相连接，转轴管内设置有导液管，导液管的上端与喷嘴组合相连接。本发明在保证密封的情况下实现芯片清洁。